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無塵室潔凈棚溫濕度怎么管控

2022-07-26 14:25:44 admin
      潔凈棚的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求先確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。至于無塵室潔凈棚溫濕度怎么管控,內(nèi)部安裝空調(diào)及加濕機(jī)即可滿足。
 無塵室潔凈棚溫濕度怎么管控百科凈化制作產(chǎn)品:
      凈化設(shè)備:潔凈棚、超凈工作臺(tái)、洗手池、風(fēng)淋室、貨淋室、傳遞窗、FFU、BFU、高效送風(fēng)口、層流罩、新風(fēng)柜、采樣車、無塵衣柜等不銹鋼凈化制品。
        耗材配件:初,中,高效過濾器、耐高溫過濾器、液槽式高效過濾器、回風(fēng)百葉、調(diào)節(jié)閥、保溫軟管、法蘭等。       
百科凈化專業(yè)從事凈化設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)、安裝、維護(hù)的全面性技術(shù)服務(wù)的高科技企業(yè)。我們擁有強(qiáng)大的銷售團(tuán)隊(duì)、眾多專業(yè)技術(shù)人才,貼心的售后服務(wù)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光電、食品飲料、微電子、精密儀器、通訊通信、生物制藥、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗(yàn)檢疫、航空航天、汽車制造、大專院校和科研教學(xué)等行業(yè)領(lǐng)域。公司本著誠信、團(tuán)結(jié)、創(chuàng)新、持續(xù)發(fā)展的經(jīng)營理念致力于潔凈行業(yè),堅(jiān)持以客戶三個(gè)滿意為基本原則:“產(chǎn)品質(zhì)量的滿意, 先進(jìn)技術(shù)的滿意,售后服務(wù)的滿意 ”,不斷加強(qiáng)企業(yè)內(nèi)部的綜合競爭力,公司在競爭中求發(fā)展,在挑戰(zhàn)中謀機(jī)遇。勤勞和真誠的我們愿與您攜手并進(jìn)、共創(chuàng)輝煌!   
深圳市百科凈化科技有限公司與國內(nèi)外眾多知名品牌企業(yè)建立了良好、穩(wěn)固的合作伙伴關(guān)系,公司擁有強(qiáng)大的人才、技術(shù)團(tuán)隊(duì)。并先后成為:惠州TCL移動(dòng)通信、冠捷科技、信利電子、和而泰、上海微電子、印度尼西亞evercoss、菲律賓VanNC、Blackview、啟鵬天辰、易快來、龍祥卓越、思迪科、載誠中觸等眾多企業(yè)的合作伙伴。
 




    百科凈化制作產(chǎn)品:
      凈化設(shè)備:潔凈棚、超凈工作臺(tái)、洗手池、風(fēng)淋室、貨淋室、傳遞窗、FFU、BFU、高效送風(fēng)口、層流罩、新風(fēng)柜、采樣車、無塵衣柜等不銹鋼凈化制品。
        耗材配件:初,中,高效過濾器、耐高溫過濾器、液槽式高效過濾器、回風(fēng)百葉、調(diào)節(jié)閥、保溫軟管、法蘭等。       
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