集成電路無(wú)塵車間設(shè)計(jì)施工要求
根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
第一種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的凈化設(shè)計(jì)方案。
FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
集成電路制造對(duì)無(wú)塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。
另外，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。
好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本最低，潔凈度安全性最高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。
集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上，因此節(jié)能安全的潔凈室設(shè)計(jì)和各種熱能回收設(shè)計(jì)將是未來的發(fā)展方向。
隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級(jí)，主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時(shí)代，集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為先進(jìn)制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。
百科凈化制作產(chǎn)品：
凈化設(shè)備：潔凈棚、超凈工作臺(tái)、洗手池、風(fēng)淋室、貨淋室、傳遞窗、FFU、BFU、高效送風(fēng)口、層流罩、新風(fēng)柜、采樣車、無(wú)塵衣柜等不銹鋼凈化制品。
耗材配件：初，中，高效過濾器、耐高溫過濾器、液槽式高效過濾器、回風(fēng)百葉、調(diào)節(jié)閥、保溫軟管、法蘭等。
百科凈化專業(yè)從事凈化設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)、安裝、維護(hù)的全面性技術(shù)服務(wù)的高科技企業(yè)。我們擁有強(qiáng)大的銷售團(tuán)隊(duì)、眾多專業(yè)技術(shù)人才，貼心的售后服務(wù)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光電、食品飲料、微電子、精密儀器、通訊通信、生物制藥、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗(yàn)檢疫、航空航天、汽車制造、大專院校和科研教學(xué)等行業(yè)領(lǐng)域。公司本著誠(chéng)信、團(tuán)結(jié)、創(chuàng)新、持續(xù)發(fā)展的經(jīng)營(yíng)理念致力于潔凈行業(yè)，堅(jiān)持以客戶三個(gè)滿意為基本原則：“產(chǎn)品質(zhì)量的滿意， 先進(jìn)技術(shù)的滿意，售后服務(wù)的滿意 ”,不斷加強(qiáng)企業(yè)內(nèi)部的綜合競(jìng)爭(zhēng)力，公司在競(jìng)爭(zhēng)中求發(fā)展，在挑戰(zhàn)中謀機(jī)遇。勤勞和真誠(chéng)的我們?cè)概c您攜手并進(jìn)、共創(chuàng)輝煌！
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